実験室の概要 †

材料加工プロセス実験準備室（EF403） †

• 電子顕微鏡、レーザ顕微鏡、触針式表面粗さ測定装置、動的光散乱式粒子径測定装置などの評価装置や、ドライエッチング 装置（RIE）、スパッタ装置、真空蒸着装置などの微細加工装置を設置しています。
  
• 材料加工プロセス実験室（EF404）には、この部屋から入室します。
  
  
  

材料加工プロセス実験室（EF404） †

• 材料の合成や加工実験を実施するための実験室です。
  
• この実験室には化学実験スペース、フォトリソグラフィ加工室（クリーンルーム）、ブラスト加工室があります。
• 実験スペースでは化学実験やデバイスを用いた合成、マッフル炉や陽極接合装置による基板の接合実験、レーザ加工装置による加工実験、マイクロスコープによる可視化実験が可能です。
  
• リソグラフィ加工室（クリーンルーム）では、クラス10000のクリーンルームであり、クリーンスーツを着用しエアーシャワーを通って入室します。この部屋ではスピンコータ、マスクアライナ、現像装置を用いた半導体微細加工技術により、マイクロメートルオーダ微細構造体を製作することが可能です。
  
• マイクロブラスト加工室では、フォトリソグラフィ加工室で作製したマスクパターン付基板のブラスト加工が可能です。
  
  
  
  
  
  
  

EF405 †

• 学生の居室です。データ処理用のPCが設置されています。
  
• 会議スペースがあり，報告会や授業の実施が可能です。