小型現像装置

  • 基板上に塗布したレジストを露光後に、現像するための装置です。
  • 基板を回転させながら基板の上側から、往復運動するノズルから現像液を噴射します。
  • 現像液による現像、純水による洗浄、スピン乾燥がプラグラム制御により自動で実施できます。

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Last-modified: 2022-05-07 (土) 15:56:11 (265d)