朱鷺メッセ(新潟)で開催された第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会),第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(日本機械学会)において,喜々津君,田邉君が下記の研究発表を行いました。

本シンポジウムはMEMS,マイクロマシン分野の日本最大のシンポジウムであり,第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会主催),第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(日本機械学会),集積化MEMS技術研究会主催「集積化MEMSシンポジウム」(応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催)で同時開催されました。


[第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム]

[第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム]


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