セルラーオートマトン法によりブラスト加工(砥粒加工)によるガラス基板の加工形状を予測します。加工実験用装置の試作と実験による加工形状との比較によりシミュレータの改良を行います。
[1] H. Yagyu, O. Tabata: Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.18 No. 5, 055010(9pp) (2009).
[2] H. Yagyu, O. Tabata: Transaction on Electrical and Electronic Engineering, Vol.2 No. 3, p.348-356 (2007).