マスクアライナのバックアップソース(No.1)

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マスクアライナへ行く。
- 1 (2015-02-20 (金) 18:52:05)
- 2 (2015-02-20 (金) 18:53:30)
- 3 (2015-02-22 (日) 02:33:22)
- 4 (2015-02-25 (水) 19:31:15)
- 5 (2015-03-04 (水) 04:37:49)

マスクアライナは，フォトリソグラフィ加工を行うための露光装置である．基板位置に対するフォトマスクの位置を正確に位置決めするための顕微鏡光学系と微動機構を備えている．光源は超高圧水銀ランプであり，基板に対し並行光を照射可能である．