研究テーマ †
- シミュレーション
MEMS用高分子レジストのシミュレーション
MEMS流体デバイスを開発するためにレジスト材料特性を把握するために粗視化分子動力学法により高分子レジストの構造と機械的物性(弾性率など)の関係を予測します。
[1] H. Yagyu, Y. Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata: Polymer, Vol.53, p.4834-4842 (2012).
[2] 平井義和, 柳生裕聖, 牧野圭秀, 上杉晃生, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌), Vol.133 No.9, p.320-329 (2013).
ゴム材料のシミュレーション
高分子鎖を単純なビーズスプリングモデルとして扱いOCTA/COGNAC,LAMMPSを用いて伸張特性や粘弾性特性を計算します。モデルサイズに応じてスーパーコンピュータで並列計算を行います。
[1] H. Yagyu, T. Utsumi: Computational Materials Science, Vol.46 Issue 2, p.286-292 (2009).
[2] 柳生裕聖: 日本機械学会論文集(計算力学), Vol.80 No.810, p.CM0032 (2014).
マイクロブラスト加工のシミュレーション
セルラーオートマトン法によりブラスト加工(砥粒加工)によるガラス基板の加工形状を予測します。加工実験用装置の試作と実験による加工形状との比較によりシミュレータの改良を行います。
[1] H. Yagyu, O. Tabata: Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.18 No. 5, 055010(9pp) (2009).
[2] H. Yagyu, O. Tabata: Transaction on Electrical and Electronic Engineering, Vol.2 No. 3, p.348-356 (2007).
- 実験
レーザー加工プロセスの研究
レーザー光と材料の相互作用を利用して新しい材料を生成するための加工方法を研究します。
マイクロブラスト加工によるマイクロ流体デバイスの研究
ブラスト加工によりガラス基板上に微細な流路を形成したガラスチップを作成し、加工した基板上でナノ粒子などの新しい材料を生成するプロセスを研究します。