実験室のバックアップ(No.10) - Yagyu Laboratory Kanto Gakuin Univ.

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- 1 (2015-10-25 (日) 16:06:53)
- 2 (2015-10-25 (日) 18:53:52)
- 3 (2015-11-30 (月) 15:53:23)
- 4 (2018-02-25 (日) 03:09:40)
- 5 (2018-03-18 (日) 03:00:29)
- 6 (2019-01-02 (水) 02:39:11)
- 7 (2019-05-10 (金) 13:06:57)
- 8 (2020-03-10 (火) 04:14:44)
- 9 (2020-11-17 (火) 22:23:18)
- 10 (2021-03-19 (金) 02:30:34)

実験室の概要 †

材料加工プロセス実験準備室（EF403） †

電子顕微鏡、レーザ顕微鏡、触針式表面粗さ測定装置、動的光散乱式粒子径測定装置などの評価装置や、ドライエッチング装置（RIE）、スパッタ装置、真空蒸着装置などの微細加工装置を設置しています。
材料加工プロセス実験室（EF404）には、この部屋から入室します。

材料加工プロセス実験室（EF404） †

材料の合成や加工実験を実施するための実験室です。
この実験室には化学実験スペース、リソグラフィ加工室（クリーンルーム）、ブラスト加工室があります。
実験スペースでは化学実験やデバイスを用いた合成、マッフル炉や陽極接合装置による基板の接合実験、レーザ加工装置による加工実験、マイクロスコープによる可視化実験が可能です。
リソグラフィ加工室（クリーンルーム）では、クラス10000のクリーンルームであり、クリーンスーツを着用しエアーシャワーを通って入室します。この部屋ではスピンコータ、マスクアライナ、現像装置を用いた半導体微細加工技術により、マイクロメートルオーダ微細構造体を製作することが可能です。
マイクロブラスト加工室では、リソグラフィ加工室で作製したマスクパターン付基板のブラスト加工が可能です。

EF405 †

学生の居室です。データ処理用のPCが設置されています。
会議スペースがあり，報告会や授業の実施が可能です。