実験室のバックアップの現在との差分(No.10)

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実験室へ行く。
- 1 (2015-10-25 (日) 16:06:53)
- 2 (2015-10-25 (日) 18:53:52)
- 3 (2015-11-30 (月) 15:53:23)
- 4 (2018-02-25 (日) 03:09:40)
- 5 (2018-03-18 (日) 03:00:29)
- 6 (2019-01-02 (水) 02:39:11)
- 7 (2019-05-10 (金) 13:06:57)
- 8 (2020-03-10 (火) 04:14:44)
- 9 (2020-11-17 (火) 22:23:18)
- 10 (2021-03-19 (金) 02:30:34)

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#freeze
*実験室の概要 [#r34e6b79]
~
&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/lab_fig.png,nolink,left,419x403);
~
*材料加工プロセス実験準備室（EF403） [#l321eb6e]
~
-電子顕微鏡、レーザ顕微鏡、触針式表面粗さ測定装置、動的光散乱式粒子径測定装置などの評価装置や、ドライエッチング 装置（RIE）、スパッタ装置、真空蒸着装置などの微細加工装置を設置しています。~
-材料加工プロセス実験室（EF404）には、この部屋から入室します。~
~
&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF403a.jpg,nolink,,left,330x220);
&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF403b.jpg,nolink,,left,330x220);
~

*材料加工プロセス実験室（EF404） [#d52fc020]
~
-材料の合成や加工実験を実施するための実験室です。~
-この実験室には化学実験スペース、リソグラフィ加工室（クリーンルーム）、ブラスト加工室があります。
-この実験室には化学実験スペース、フォトリソグラフィ加工室（クリーンルーム）、ブラスト加工室があります。
-実験スペースでは化学実験やデバイスを用いた合成、マッフル炉や陽極接合装置による基板の接合実験、レーザ加工装置による加工実験、マイクロスコープによる可視化実験が可能です。~
-リソグラフィ加工室（クリーンルーム）では、クラス10000のクリーンルームであり、クリーンスーツを着用しエアーシャワーを通って入室します。この部屋ではスピンコータ、マスクアライナ、現像装置を用いた半導体微細加工技術により、マイクロメートルオーダ微細構造体を製作することが可能です。~
-マイクロブラスト加工室では、リソグラフィ加工室で作製したマスクパターン付基板のブラスト加工が可能です。~
-マイクロブラスト加工室では、フォトリソグラフィ加工室で作製したマスクパターン付基板のブラスト加工が可能です。~
~
&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404a.jpg,nolink,,left,330x220);
&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image//EF404b.jpg,nolink,,left,330x220);
~
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&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/cleanroom1.jpg,nolink,,left,220x290);
//&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404c.jpg,nolink,,left,330x220);
&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404d.jpg,nolink,,left,330x220);
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&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404y1.jpg,nolink,,left,330x220);
&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404y2.jpg,nolink,,left,330x220);
~
*EF405 [#r8ee13e0]
~
-学生の居室です。データ処理用のPCが設置されています。~
-会議スペースがあり，報告会や授業の実施が可能です。~
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&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF405b.jpg,nolink,,left,330x220);
&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF405a.jpg,nolink,,left,330x220);
~