材料加工プロセス実験準備室(EF403) †
- 電子顕微鏡やレーザ顕微鏡などの評価装置、レーザ加工装置を設置しています。
材料加工プロセス実験室(EF404) †
- 材料の合成や加工実験を実施するための実験室です。
- 化学実験、マイクロブラスト加工実験が可能です。
- リソグラフィ加工室(イエロールーム)が設置されており、半導体微細加工技術により、マイクロメートルオーダー微細構造体を製作することが可能です。
EF406 †
- 学生の居室です。データ処理用のPCが設置されています。
- 会議スペースがあり,報告会や授業の実施が可能です。