*材料加工プロセス実験準備室(EF403) [#l321eb6e] ~ -電子顕微鏡、レーザ顕微鏡、動的光散乱式粒子径測定装置などの評価装置やドライエッチング 装置を設置しています。~ -材料加工プロセス実験室(EF404)には、この部屋から入室します。~ ~ &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF403a.jpg,nolink,,left,330x220); &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF403b.jpg,nolink,,left,330x220); ~ *材料加工プロセス実験室(EF404) [#d52fc020] ~ -材料の合成や加工実験を実施するための実験室です。~ -この実験室には実験スペース、リソグラフィ加工室、ブラスト加工室があります。 -化学実験、マイクロブラスト加工実験、レーザ加工実験が可能です。~ -リソグラフィ加工室(イエロールーム)では半導体微細加工技術により、マイクロメートルオーダー微細構造体を製作することが可能です。~ ~ &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404a.jpg,nolink,,left,330x220); &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image//EF404b.jpg,nolink,,left,330x220); ~ ~ &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404c.jpg,nolink,,left,330x220); &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404d.jpg,nolink,,left,330x220); ~ ~ &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404y1.jpg,nolink,,left,330x220); &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404y2.jpg,nolink,,left,330x220); ~ *EF405 [#r8ee13e0] ~ -学生の居室です。データ処理用のPCが設置されています。~ -会議スペースがあり,報告会や授業の実施が可能です。~ ~ &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF405b.jpg,nolink,,left,330x220); &ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF405a.jpg,nolink,,left,330x220); ~