小型現像装置のバックアップ差分(No.2) - Yagyu Laboratory Kanto Gakuin Univ.

バックアップ一覧
現在との差分を表示
ソースを表示
バックアップを表示
小型現像装置へ行く。
- 1 (2021-08-14 (土) 15:41:40)
- 2 (2021-08-14 (土) 15:53:17)

追加された行はこの色です。
削除された行はこの色です。

小型現像装置
*小型現像装置 [#cc8fe9e9]

-基板上に塗布したレジストを露光後に、現像するための装置です。~
-基板を回転させながら基板の上側から、往復運動するノズルから現像液を噴射します。~
-現像液による現像、純水による洗浄、スピン乾燥がプラグラム制御により自動で実施できます。
~
~
#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa2/image/developer2b.JPG,nolink,around,left,326x245)
#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa2/image/developer2a.JPG,nolink,around,left,326x245)~
~