触針式表面粗さ計
- 触針を表面に接触させて表面粗さを測定する装置です。
- レジスト厚さ測定、加工溝の深さなどの測定が可能です。
- 測定データのリアルタイム表示、評価曲線の1画面表示、解析グラフの読みとりなどが可能です。
- 試料の表面に触針を接触させながら、移動させることにより、表面形状の高さに応じて触針の高さが変位します。
- 触針の高さは検出器により計測されるため、試料の表面粗さや段差が測定できます。
- 測定した高さ（Z軸）と位置（X軸）からなる波形データを解析することにより、平均表面粗さなどが解析できます。
- 測定範囲100mm（X軸方向）、800µm（Z軸方向）
- 測定レンジ 8〜800µm、分解能 0.1〜10nm
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