触針式表面粗さ計のバックアップ差分(No.1)

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- 1 (2021-07-16 (金) 21:45:40)
- 2 (2021-07-16 (金) 21:47:33)

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触針式表面粗さ計

-触針を表面に接触させて表面粗さを測定する装置です。
-レジスト厚さ測定、加工溝の深さなどの測定が可能です。
-測定データのリアルタイム表示、評価曲線の1画面表示、解析グラフの読みとりなどが可能です。
-試料の表面に触針を接触させながら、移動させることにより、表面形状の高さに応じて触針の高さが変位します。
-触針の高さは検出器により計測されるため、試料の表面粗さや段差が測定できます。
-測定した高さ（Z軸）と位置（X軸）からなる波形データを解析することにより、平均表面粗さなどが解析できます。
-測定範囲100mm（X軸方向）、800&micro;m（Z軸方向）
-測定レンジ 8～800&micro;m、分解能 0.1～10nm
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa2/image/surfcom-a.JPG,nolink,around,left,400x300)
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