*真空蒸着装置 [#tf98af02]
~
-真空にした容器（チャンバ）の中で物質を加熱することにより気化させ、近傍に置いた基板上に堆積させて薄膜します
-抵抗加熱方式により物質の加熱します真空系はロータリポンプ，ディフュージョンポンプで構成されています
-金属，高分子の薄膜作製，カーボン支持膜，反射膜作製（アルミなど）が可能です~
トップ   新規 一覧 単語検索 最終更新   ヘルプ   最終更新のRSS