第30 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（11月5日～7日，仙台）において研究室から1件の発表を行いますのバックアップ(No.1)

第30 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが11月5日～7日に仙台で開催されます。研究室からは以下の1件を発表します。

5PM3-PSS-117 粗視化モデルを用いたMEMS 化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析
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成瀬 圭介，○柳生 裕聖，平井 義和，土屋 智由，田畑 修
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