第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム(日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催)が2014年10月20日〜22日に島根県松江市で開催されます。本シンポジウムはMEMS,マイクロマシン分野の日本最大のシンポジウムであり,第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会主催),集積化MEMS技術研究会主催「集積化 MEMS シンポジウム」(応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催)と同時開催されます。~ ~ 当研究室から下記の2件の発表を行います。~ ~ ~ -20pm3-PM022 金ナノ粒子を利用したレーザ微細加工技術の研究 喜々津岳史,小川正嗣,位高裕希,柳生裕聖 ~ ~ -20pm3-PM021 マイクロ流体デバイス用ガラス基板の熱圧着接合技術 の研究 濱村心,森塚大樹,柳生裕聖