-レーザ光を試料表面にスキャンさせることにより、高低差や3次元形状を測定可能な装置です。
*超深度形状測定顕微鏡 [#z6474ba3]
-レーザ光を試料表面にスキャンさせることにより、高低差や3次元形状を測定可能な装置(共焦点レーザ顕微鏡)です。
-本装置では200〜8000倍で観察可能です。
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/laser_ms1.jpg,nolink,around,left,500x200)
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