保有設備のバックアップソース(No.32) - Yagyu Laboratory Kanto Gakuin Univ.

*保有設備 [#xd12d769]
[加工･実験装置]~
-[[マイクロブラスト加工装置]]~
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-[[ガルバノレーザースキャンシステム]]~
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-[[マッフル炉]] ： ヤマト科学製 FO-310~
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-[[マスクアライナ]] ：  Canon PLA-501S~
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-[[スプレー現像装置]]：　自作~
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-[[スピンコータ]]：　押鐘製 SC-200~
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-[[イオンスパッタ装置]]：　日本電子 JFC-1500~
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//-ドライエッチング装置（RIE）：アネルバ DEM-451~
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-[[簡易ドラフトチャンバ]]：　N2FACTORY NGDS-2~
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-アスピレータ~
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-ホットプレートスターラ~
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-ホットプレート~
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-電子天秤~
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-[[フォトリソグラフィ加工室]]~
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-超音波洗浄器~
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-[[3Dプリンタ]]：Micro M3D~
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[分析機器]~
-[[卓上走査型電子顕微鏡]] ： 島津理化製 e-SEM~
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-[[分光光度計]] ： 島津製作所製 UVmini-1240~
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-[[超深度形状測定顕微鏡]] ： キーエンス VK-8500~
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-マイクロスコープ~
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//-表面粗さ計 ： ミツトヨ製 SJ-410 ~
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[計算機]~
-[[並列計算機]]（Linux CentOS6.3） ： Dell T5600 4台~
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-解析用PC（Windows7) ： 3台~
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-解析用PC（Windows8) ： 4台~
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