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保有設備 †

[加工･実験装置]

• マイクロブラスト加工装置
  
  
• ガルバノレーザースキャンシステム
  
  
• マッフル炉 ： ヤマト科学 FO-310
  
  
• マスクアライナ ： Canon PLA-501S
  
  
• スプレー現像装置：　自作
  
  
• 小型現像装置：　滝沢産業 AD-1200
  
  
• スピンコータ：　押鐘 SC-200
  
  
• イオンスパッタ装置：　日本電子 JFC-1500
  
  
• ドライエッチング装置（RIE）：アネルバ DEM-451
  
  
• 真空蒸着装置：日本電子 JEE-400
  
  
• 研磨装置
  
  
• ルータ
  
  
• 簡易ドラフトチャンバ：　N2FACTORY NGDS-2
  
  
• 簡易ドラフトチャンバ：
  
  
• アスピレータ
  
  
• ホットプレートスターラ
  
  
• ホットプレート
  
  
• 電子天秤
  
  
• フォトリソグラフィ加工室（クリーンルーム）
  
  
• 超音波洗浄器
  
  
• 3Dプリンタ：Micro M3D
  
  
• 純水製造装置：柴田科学 ピュアポートP-101
  
  
• 乾燥器付器具保管庫：サンプラテック DGK-220C-A
  
  
  

[分析・計測機器]

• 卓上走査型電子顕微鏡 ： 島津理化 e-SEM
  
  
• 分光光度計 ： 島津製作所 UVmini-1240
  
  
• 超深度形状測定顕微鏡 ： キーエンス VK-8500
  
  
• 動的光散乱式粒子径測定装置： 堀場製作所 SZ-100S
  
  
• 表面粗さ形状測定機：東京精密 Surfcom480A
  
  
• 透過型電子顕微鏡（共用研究装置）：日立製作所 HT7800
  
  
• マイクロスコープ
  
  
  

[計算機・ソフトウェア]

• 並列計算機（Linux CentOS6.3） ： Dell T5600 4台
  
  
• 解析用PC（Windows) ： 12台
  
  
• AutoCAD2016 (Education Stand-alone)：最大 1250ライセンス
  
  
• J-OCTA：ネットワークライセンス（株式会社JSOLより貸与）
  
  

     

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