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#freeze
*Facility [#xd12d769]
[Fabrication system,experimental equipment]~
-[[Micropowder blasting>マイクロブラスト加工装置]]~
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-[[Galvano laser scan system>ガルバノレーザスキャンシステム]]~
-[[Galvano laser scan system>ガルバノレーザースキャンシステム]]~
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-[[Electric muffle furnance>マッフル炉]] ： Yamato Scientific FO-310~
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-[[Mask aligner>マスクアライナ]] ： Canon PLA-501S~
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//-UV露光機~
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-Fume hood~
-[[Spray developer>スプレー現像装置]]~
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-[[Compact developer>小型現像装置]] ： Takizawa Sangyo AD-1200~
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-[[Spin coater>スピンコータ]] ： Oshigane SC-200~
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-[[Ion sputtering system>イオンスパッタ装置]] ： JEOL JFC-1500~
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-[[Reactive Ion Etching>ドライエッチング装置（RIE）]] ： ANELVA DEM-451~
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-[[Vacuum vapor deposition system>真空蒸着装置]]： JEOL JEE-400~
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-[[Vacuum plasma system>卓上真空プラズマ装置]]： SAKIGAKE-Semiconductor YHS-R~
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-[[Draft chamber>簡易ドラフトチャンバ]]：N2FACTORY NGDS-2~
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-[[Draft chamber>簡易ドラフトチャンバ]]~
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-[[Photolithography Room (Clean room)>フォトリソグラフィ加工室（クリーンルーム）]]~
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-[[High speed micro centrifuge>高速マイクロ遠心機]]：Kenis CF02~
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-[[Autoclave>オートクレーブ]]：AS ONE NCC-16LVB~
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-[[3D printer>3Dプリンタ]]： Micro M3D~
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-Polisher~
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-Router~
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-Aspirator~
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//-ホットプレートスターラ~
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//-ホットプレート~
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//-電子天秤~
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-[[Yellow Room>イエロールーム]]~
-Hotplate stirrer~
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-Hotplate~
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-Electric balance~
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-Ultrasonic cleaner~
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-Centrifuge~
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-Autoclave~
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-Deionized Water Production Unit： SHIBATA PURE PORT P-101~
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-Dry cabinet：SANPLATEC DGK-220C-A~
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[Analytical instruments]~
-[[Scanning Electron Microscope>卓上走査型電子顕微鏡]] ： Shimadzu Rika Corporation e-SEM~
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-[[Spectrophotometer>分光光度計]] ： Shimadzu Corporation UVmini-1240~
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-[[UV-Vis-Nir Spectrophotometer>紫外・可視・近赤外分光光度計]] ： Shimadzu Corporation UV-3600i Plus~
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-Microplate reader ：Corona Electric SH-1300Lab~
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-[[X ray diffractometer>X線回折装置]]：Rigaku MIniFlex600~
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-[[Confocal laser scanning microscope>超深度形状測定顕微鏡]] ： Keyence VK-8500~
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-[[Dynamic Light-Scattering Particle Size Analyzer>動的光散乱式粒子径測定装置]] ： Horiba SZ-100S~
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-[[Surface roughness measuring instrument>触針式表面粗さ計]] ： Tokyo seimitsu Surfcom480A~
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-[[Transmission Electron Microscope>透過型電子顕微鏡（共用研究装置）]] ： Hitachi HT7800~
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-Tensile tester ： Imada MX-500N, ZTS-500N~
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-Microscope~
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-[[Confocallaser scanning microscope>超深度形状測定顕微鏡]] ： Keyence VK-8500~
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//-表面粗さ計 ： ミツトヨ製 SJ-410 ~
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[計算機]~
[Computing cluster, Software]~
-[[Parallel computer>並列計算機]]（Linux CentOS6.3） ： Dell T5600 4 units~
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-Analytical PC（Windows7) ： 3 units~
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-Analytical PC（Windows8) ： 1 units~
-Analytical PC（Windows8) ： 4 units~
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#norelated
![[PukiWiki]]( image/title.gif "[PukiWiki]")
