真空蒸着装置の変更点 - Yagyu Laboratory Kanto Gakuin Univ.

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*真空蒸着装置 [#tf98af02]
-真空にした容器（チャンバ）の中で物質を加熱することにより気化させ、近傍に置いた基板上に堆積させて薄膜します
-抵抗加熱方式により物質の加熱します真空系はロータリポンプ，ディフュージョンポンプで構成されています
-金属，高分子の薄膜作製，カーボン支持膜，反射膜作製（アルミなど）が可能です~
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/pvd.png,nolink,around,left,200x200)
#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/pvd2.jpg,nolink,around,left,300x200)
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