開始行:
*フォトリソグラフィ室(クリーンルーム) [#zda257a5]
-フォトリソグラフィ室は紫外線が遮断されたクリーンルーム(...
-クリーンルームは小さなほこりの付着も許されない半導体の製...
-この部屋は清浄度を管理するために、FFU(ファン付き高性能H...
-作業者はクリーンスーツを着用後に、入口に設置されているエ...
-フォトリソグラフィ加工室では基板上にマイクロパターンを形...
~
#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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終了行:
*フォトリソグラフィ室(クリーンルーム) [#zda257a5]
-フォトリソグラフィ室は紫外線が遮断されたクリーンルーム(...
-クリーンルームは小さなほこりの付着も許されない半導体の製...
-この部屋は清浄度を管理するために、FFU(ファン付き高性能H...
-作業者はクリーンスーツを着用後に、入口に設置されているエ...
-フォトリソグラフィ加工室では基板上にマイクロパターンを形...
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