開始行:
*触針式表面粗さ計 [#j23590d1]
-触針を表面に接触させて表面粗さを測定する装置です。
-レジスト厚さ測定、加工溝の深さなどの測定が可能です。
-測定データのリアルタイム表示、評価曲線の1画面表示、解析...
-試料の表面に触針を接触させながら、移動させることにより、...
-触針の高さは検出器により計測されるため、試料の表面粗さや...
-測定した高さ(Z軸)と位置(X軸)からなる波形データを解析...
-測定範囲100mm(X軸方向)、800µm(Z軸方向)
-測定レンジ 8〜800µm、分解能 0.1〜10nm
~
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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→[[保有設備]]へ戻る
終了行:
*触針式表面粗さ計 [#j23590d1]
-触針を表面に接触させて表面粗さを測定する装置です。
-レジスト厚さ測定、加工溝の深さなどの測定が可能です。
-測定データのリアルタイム表示、評価曲線の1画面表示、解析...
-試料の表面に触針を接触させながら、移動させることにより、...
-触針の高さは検出器により計測されるため、試料の表面粗さや...
-測定した高さ(Z軸)と位置(X軸)からなる波形データを解析...
-測定範囲100mm(X軸方向)、800µm(Z軸方向)
-測定レンジ 8〜800µm、分解能 0.1〜10nm
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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