*保有設備 [#xd12d769] [加工・実験装置]~ -[[マイクロブラスト加工装置]]~ ~ -[[ガルバノレーザースキャンシステム]]~ ~ -[[マッフル炉]] : ヤマト科学製 FO-310~ ~ -[[マスクアライナ]] : Canon PLA-501S~ ~ -[[スプレー現像装置]]: 自作~ ~ -[[スピンコータ]]: 押鐘製 SC-200~ //~ //-[[イオンスパッタ装置]]: 日本電子 JFC-1500~ ~ //-UV露光機~ //~ -[[簡易ドラフトチャンバ]]: N2FACTORY NGDS-2~ ~ -アスピレータ~ ~ -ホットプレートスターラ~ ~ -ホットプレート~ ~ -電子天秤~ ~ -[[フォトリソグラフィ加工室]]~ ~ -超音波洗浄器~ ~ -[[3Dプリンタ]]:Micro M3D~ ~ [分析機器]~ -[[卓上走査型電子顕微鏡]] : 島津理化製 e-SEM~ ~ -[[分光光度計]] : 島津製作所製 UVmini-1240~ ~ -[[超深度形状測定顕微鏡]] : キーエンス VK-8500~ ~ -マイクロスコープ~ ~ //-表面粗さ計 : ミツトヨ製 SJ-410 ~ //~ [計算機]~ -[[並列計算機]](Linux CentOS6.3) : Dell T5600 4台~ ~ -解析用PC(Windows7) : 3台~ ~ -解析用PC(Windows8) : 4台~ ~