*保有設備 [#xd12d769] [加工・実験装置]~ -[[マイクロブラスト加工装置]]~ ~ -[[ガルバノレーザースキャンシステム]]~ ~ -[[マッフル炉]] : ヤマト科学 FO-310~ ~ -[[マスクアライナ]] : Canon PLA-501S~ ~ -[[スプレー現像装置]]: 自作~ ~ -[[小型現像装置]]: 滝沢産業 AD-1200~ ~ -[[スピンコータ]]: 押鐘 SC-200~ ~ -[[イオンスパッタ装置]]: 日本電子 JFC-1500~ ~ -[[ドライエッチング装置(RIE)]]:アネルバ DEM-451~ ~ -[[真空蒸着装置]]:日本電子 JEE-400~ ~ -[[卓上真空プラズマ装置]]:魁半導体 YHS-R~ ~ -[[簡易ドラフトチャンバ]]: N2FACTORY NGDS-2~ ~ -[[簡易ドラフトチャンバ]]:~ ~ -[[フォトリソグラフィ加工室(クリーンルーム)]]~ ~ -[[高速マイクロ遠心機]]:ケニス CF02~ ~ -[[オートクレーブ]]:アズワン NCC-16VB~ ~ -[[3Dプリンタ]]:Micro M3D~ ~ -研磨装置~ ~ -ルータ~ ~ -アスピレータ~ ~ -ホットプレートスターラ~ ~ -ホットプレート~ ~ -電子天秤~ ~ //-電子天秤~ //~ -超音波洗浄器~ ~ //-[[定温乾燥器]]:アズワン EO-300B~ //~ -純水製造装置:柴田科学 ピュアポートP-101~ ~ -乾燥器付器具保管庫:サンプラテック DGK-220C-A~ ~ ~ [分析・計測機器]~ -[[卓上走査型電子顕微鏡]] : 島津理化 e-SEM~ ~ -[[分光光度計]] : 島津製作所 UVmini-1240~ ~ -マイクロプレートリーダー:コロナ電気 SH-1300Lab~ ~ -[[超深度形状測定顕微鏡]] : キーエンス VK-8500~ ~ -[[動的光散乱式粒子径測定装置]]: 堀場製作所 SZ-100S~ ~ -[[X線回折装置]]:リガク MiniFlex600~ ~ -[[紫外・可視・近赤外分光光度計]]:島津製作所 UV-3600i Plus~ ~ -[[透過型電子顕微鏡(共用研究装置)]]:日立製作所 HT7800~ ~ -[[触針式表面粗さ計]]:東京精密 Surfcom480a~ ~ -引張試験機:イマダ MX-500N、ZTS-500N~ ~ -マイクロスコープ~ ~ ~ [計算機・ソフトウェア]~ -[[並列計算機]](Linux CentOS6.3) : Dell T5600 4台~ ~ -解析用PC(Windows) : 12台~ ~ -AutoCAD (Education Stand-alone):最大 1250ライセンス~ ~ -J-OCTA:ネットワークライセンス(株式会社JSOLより貸与)~ ~