第6回マイクロ･ナノ工学シンポジウム（日本機械学会マイクロ･ナノ工学部門主催）が2014年10月20日〜22日に島根県松江市で開催されます。本シンポジウムはMEMS，マイクロマシン分野の日本最大のシンポジウムであり，第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（電気学会主催），集積化MEMS技術研究会主催「集積化 MEMS シンポジウム」（応用物理学会集積化 MEMS 技術研究会主催）と同時開催されます。

当研究室から下記の2件の発表を行います。


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