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-Simulation
*Research projects [#y4694e7c]
-''Simulation''~
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''Simulation of polymer resist for MEMS''~
MEMS流体デバイスを開発するためにレジスト材料特性を把握するために粗視化分子動力学法により高分子レジストの構造と機械的物性（弾性率など）の関係を予測します。~
The mechanical property of the polymer resist is required for development of MEMS microfluidic device. We predict by coarse grained molecular dynamics simulation. ~
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[1] H. Yagyu, Y. Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata: Polymer, Vol.53, p.4834-4842 (2012).~
[2] 平井義和, 柳生裕聖, 牧野圭秀, 上杉晃生, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修: 電気学会論文誌E（センサ･マイクロマシン部門誌）, Vol.133 No.9, p.320-329 (2013).~
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''Simulation of rubber materials''~
高分子鎖を単純なビーズスプリングモデルとして扱いOCTA/COGNAC，LAMMPSを用いて伸張特性や粘弾性特性を計算します。モデルサイズに応じてスーパーコンピュータで並列計算を行います。~
A polymer chain is treated as a simple beads-spring model, and the viscoelastic and elongation behavier of the model is simulated using molecular dynamics calculation software such as OCTA/COGNAC and LAMMPS with supercomputer according to the model scale.~
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[1] H. Yagyu, T. Utsumi: Computational Materials Science, Vol.46 Issue 2, p.286-292 (2009).~
[2] 柳生裕聖: 日本機械学会論文集（計算力学）, Vol.80 No.810, p.CM0032 (2014).~
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''Simulation of micropowder btasting''~
セルラーオートマトン法によりブラスト加工（砥粒加工）によるガラス基板の加工形状を予測します。加工実験用装置の試作と実験による加工形状との比較によりシミュレータの改良を行います。~
We predict processed shape on a glass substrate by powder btasting using cellular automaton method. The simulator is improved by comparison of experimental result and simulated result, in addition of the production of processing system.~
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[1] H. Yagyu, O. Tabata: Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.18 No. 5, 055010(9pp) (2009).~
[2] H. Yagyu, O. Tabata: Transaction on Electrical and Electronic Engineering, Vol.2 No. 3, p.348-356 (2007).
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-Experimant
-''Experiment''~
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''Laser microfabrication process''~
金ナノ粒子が分散した高分子膜のレーザ微細加工技術の研究しています。金ナノ粒子のプラズモン共鳴吸収に近い波長のグリーンレーザを加工用光源として用いることで高分子膜上に微細なパターンを作製が可能です。本研究ではナノ粒子の粒子径や粒度分布とレーザ加工形状の関係を明らかにすることを目標としています。~
laser microfabrication of goid nanoparticles dispersed polymer film is prposed. Since wave length of laser beam is selected an absorption wavelength by plasmon resonance vibration of gold nanoparticles, the polymer film can be micromachined. In this study, we focus the effect of size and distribution of naoparticle on laser processed shape.
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[1] H. Yagyu, O. Tabata: Applied Surface Science, Vol.255 No. 5 Part 1, p.2237-2243 (2008).~
[2] T. Kikitsu, Y. Yagoto, M. Ogawa, H. Yagyu: The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2015), Anchorage (June, 2015), accepted.
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''Microfluidic device''~
ブラスト加工によりガラス基板上に微細な流路を形成したガラスチップを作成し、加工した基板上でナノ粒子などの新しい材料を生成するプロセスを研究します。本研究では液相還元法によるナノ粒子を合成できるマイクロ流体デバイスの作製を目標としています。~
A glass microfluidic device with mcirochannel is fabricated by micropowder blasting, and the prepareation of metalic nanoparticles on the produced device is prposed. In this study, we focus the production of device which can synthesize nanoparticles by liquid-phase reduction method. ~
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[1] 濱村心, 森塚大樹, 柳生裕聖: 日本機械学会 第6回マイクロ･ナノ工学シンポジウム講演論文集, 松江（2014年10月）, 20pm3-PM021.
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