*保有設備 [#xd12d769]
[加工・実験装置]~
-[[マイクロブラスト加工装置]]~
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-[[ガルバノレーザースキャンシステム]]~
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-[[マッフル炉]] : ヤマト科学 FO-310~
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-[[マスクアライナ]] :  Canon PLA-501S~
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-[[スプレー現像装置]]: 自作~
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-[[小型現像装置]]: 滝沢産業 AD-1200~
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-[[スピンコータ]]: 押鐘 SC-200~
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-[[イオンスパッタ装置]]: 日本電子 JFC-1500~
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-[[ドライエッチング装置(RIE)]]:アネルバ DEM-451~
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-[[真空蒸着装置]]:日本電子 JEE-400~
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-[[卓上真空プラズマ装置]]:魁半導体 YHS-R~
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-[[簡易ドラフトチャンバ]]: N2FACTORY NGDS-2~
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-[[簡易ドラフトチャンバ]]:~
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-[[フォトリソグラフィ加工室(クリーンルーム)]]~
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-[[高速マイクロ遠心機]]:ケニス CF02~
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-[[オートクレーブ]]:アズワン NCC-16VB~
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-[[3Dプリンタ]]:Micro M3D~
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-研磨装置~
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-ルータ~
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-アスピレータ~
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-ホットプレートスターラ~
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-ホットプレート~
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-電子天秤~
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//-電子天秤~
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-超音波洗浄器~
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//-[[定温乾燥器]]:アズワン EO-300B~
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-純水製造装置:柴田科学 ピュアポートP-101~
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-乾燥器付器具保管庫:サンプラテック DGK-220C-A~
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[分析・計測機器]~
-[[卓上走査型電子顕微鏡]] : 島津理化 e-SEM~
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-[[分光光度計]] : 島津製作所 UVmini-1240~
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マイクロプレートリーダー:コロナ電気 SH-1300Lab~
-マイクロプレートリーダー:コロナ電気 SH-1300Lab~
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-[[超深度形状測定顕微鏡]] : キーエンス VK-8500~
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-[[動的光散乱式粒子径測定装置]]: 堀場製作所 SZ-100S~
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-[[X線回折装置]]:リガク MiniFlex600~
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-[[紫外・可視・近赤外分光光度計]]:島津製作所 UV-3600i Plus~
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-[[透過型電子顕微鏡(共用研究装置)]]:日立製作所  HT7800~
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-[[触針式表面粗さ計]]:東京精密 Surfcom480a~
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引張試験機:イマダ MX-500N、ZTS-500N~
-引張試験機:イマダ MX-500N、ZTS-500N~
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-マイクロスコープ~
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[計算機・ソフトウェア]~
-[[並列計算機]](Linux CentOS6.3) : Dell T5600 4台~
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-解析用PC(Windows) : 12台~
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-AutoCAD (Education Stand-alone):最大 1250ライセンス~
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-J-OCTA:ネットワークライセンス(株式会社JSOLより貸与)~
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