開始行:
*イオンスパッタ装置 [#c3dbfe09]
-金属膜のコーティング,基板表面のエッチング,親水化処理が...
-気体イオンが固体物質に衝突して,構成原子をたたき出す現象...
-真空状態で試料とターゲット(金属)の間に電圧印加すること...
-電圧の印加方向を逆転させることで,試料表面をエッチング,...
~
#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
終了行:
*イオンスパッタ装置 [#c3dbfe09]
-金属膜のコーティング,基板表面のエッチング,親水化処理が...
-気体イオンが固体物質に衝突して,構成原子をたたき出す現象...
-真空状態で試料とターゲット(金属)の間に電圧印加すること...
-電圧の印加方向を逆転させることで,試料表面をエッチング,...
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