開始行:
*ドライエッチング装置(RIE) [#c916337e]
-並行平板型の反応性イオンドライエッチング装置(RIE: React...
-薬液に浸けて加工を行うウェットエッチングに対して,プラズ...
-ドライエッチング装置は半導体,MEMSの微細加工技術として必...
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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→[[保有設備]]へ戻る
終了行:
*ドライエッチング装置(RIE) [#c916337e]
-並行平板型の反応性イオンドライエッチング装置(RIE: React...
-薬液に浸けて加工を行うウェットエッチングに対して,プラズ...
-ドライエッチング装置は半導体,MEMSの微細加工技術として必...
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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