開始行:
*マスクアライナ [#d5b03713]
-マスクアライナは、フォトリソグラフィ加工を行うための露光...
-本装置はイエロールーム内に設置されています。~
-基板位置に対するフォトマスクの位置を正確に位置決めするた...
-光源は超高圧水銀ランプであり、基板に対し並行光を照射可能...
-本装置では、4inchウェハーの露光が可能です。~
~
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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終了行:
*マスクアライナ [#d5b03713]
-マスクアライナは、フォトリソグラフィ加工を行うための露光...
-本装置はイエロールーム内に設置されています。~
-基板位置に対するフォトマスクの位置を正確に位置決めするた...
-光源は超高圧水銀ランプであり、基板に対し並行光を照射可能...
-本装置では、4inchウェハーの露光が可能です。~
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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