開始行:
*小型現像装置 [#cc8fe9e9]
-基板上に塗布したレジストを露光後に、現像するための装置で...
-基板を回転させながら基板の上側から、往復運動するノズルか...
-現像液による現像、純水による洗浄、スピン乾燥がプラグラム...
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/...
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終了行:
*小型現像装置 [#cc8fe9e9]
-基板上に塗布したレジストを露光後に、現像するための装置で...
-基板を回転させながら基板の上側から、往復運動するノズルか...
-現像液による現像、純水による洗浄、スピン乾燥がプラグラム...
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