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第30 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(11月5日〜7日,仙台)において研究室から1件の発表を行います
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1 (2013-10-23 (水) 00:03:56)
2 (2013-10-23 (水) 02:12:42)
第30 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが11月5日〜7日に仙台で開催されます。研究室からは以下の1件を発表します。
5PM3-PSS-117 粗視化モデルを用いたMEMS 化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析
成瀬 圭介,○柳生 裕聖,平井 義和,土屋 智由,田畑 修