第30 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが11月5日〜7日に仙台で開催されます。
研究室からは以下の1件を発表します。
http://www.sensorsymposium.org/index_j.html

• 5PM3-PSS-117
  粗視化モデルを用いたMEMS 化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析
  成瀬 圭介，○柳生 裕聖，平井 義和，土屋 智由，田畑 修
  
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