*小型現像装置 [#cc8fe9e9] -基板上に塗布したレジストを露光後に、現像するための装置です。~ -基板を回転させながら基板の上側から、往復運動するノズルから現像液を噴射します。~ -現像液による現像、純水による洗浄、スピン乾燥がプラグラム制御により自動で実施できます。 ~ ~ #ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa2/image/developer2b.JPG,nolink,around,left,326x245) #ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa2/image/developer2a.JPG,nolink,around,left,326x245)~ ~