第30 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウムが11月5日〜7日に仙台で開催されます。研究室からは以下の1件を発表します。~ ~ -5PM3-PSS-117 粗視化モデルを用いたMEMS 化学増幅型ネガレジストの分子構造依存性解析 成瀬 圭介,○柳生 裕聖,平井 義和,土屋 智由,田畑 修