*Facility [#xd12d769] [Fabrication system,experimental equipment]~ -[[Micropowder blasting>マイクロブラスト加工装置]]~ ~ -[[Galvano laser scan system>ガルバノレーザースキャンシステム]]~ ~ -[[Electric muffle furnance>マッフル炉]] : Yamato Scientific FO-310~ ~ -[[Mask aligner>マスクアライナ]] : Canon PLA-501S~ ~ -[[Spray developer>スプレー現像装置]]~ ~ -[[Ion sputtering system>イオンスパッタ装置]] : JEOL JFC-1500~ ~ -[[Spin coater>スピンコータ]] : Oshigane SC-200~ ~ //-UV露光機~ //~ -[[Fume hood>マッフル炉]]~ ~ -Aspirator~ ~ //-ホットプレートスターラ~ //~ //-ホットプレート~ //~ //-電子天秤~ //~ -[[Photolithography Room>フォトリソグラフィ加工室]]~ ~ -Ultrasonic cleaner~ ~ [Analytical instruments]~ -[[Scanning Electron Microscope>卓上走査型電子顕微鏡]] : Shimadzu Rika Corporation e-SEM~ ~ -[[Spectrophotometer>分光光度計]] : Shimadzu Corporation UVmini-1240~ ~ -Microscope~ ~ -[[Confocal laser scanning microscope>超深度形状測定顕微鏡]] : Keyence VK-8500~ ~ //-表面粗さ計 : ミツトヨ製 SJ-410 ~ //~ [計算機]~ -[[Parallel computer>並列計算機]](Linux CentOS6.3) : Dell T5600 4 units~ ~ -Analytical PC(Windows7) : 3 units~ ~ -Analytical PC(Windows8) : 4 units~ ~