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フォトリソグラフィ加工室(クリーンルーム)
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1 (2014-07-11 (金) 21:34:16)
2 (2014-07-11 (金) 21:40:21)
3 (2014-07-15 (火) 17:06:00)
4 (2014-08-11 (月) 03:26:08)
5 (2014-09-19 (金) 03:08:29)
6 (2015-10-25 (日) 17:06:12)
7 (2015-12-13 (日) 04:40:41)
8 (2018-03-21 (水) 21:15:22)
9 (2020-11-01 (日) 02:49:31)
10 (2020-11-01 (日) 21:48:34)
イエロールーム
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イエロールームは紫外線が遮断された実験室です。
イエロールームでは基板上にマイクロパターンを形成するために紫外線により硬化したり、現像液に溶解するなどの物性が変化するフォトレジスト(感光性材料)の露光、現像を行います。
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保有設備
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