フォトリソグラフィ加工室（クリーンルーム）のバックアップ差分(No.5)

バックアップ一覧
現在との差分を表示
ソースを表示
バックアップを表示
フォトリソグラフィ加工室（クリーンルーム）へ行く。
- 1 (2014-07-11 (金) 21:34:16)
- 2 (2014-07-11 (金) 21:40:21)
- 3 (2014-07-15 (火) 17:06:00)
- 4 (2014-08-11 (月) 03:26:08)
- 5 (2014-09-19 (金) 03:08:29)
- 6 (2015-10-25 (日) 17:06:12)
- 7 (2015-12-13 (日) 04:40:41)
- 8 (2018-03-21 (水) 21:15:22)
- 9 (2020-11-01 (日) 02:49:31)
- 10 (2020-11-01 (日) 21:48:34)

追加された行はこの色です。
削除された行はこの色です。

*イエロールーム [#zda257a5]
-イエロールームは紫外線が遮断された実験室です。
-イエロールームでは基板上にマイクロパターンを形成するために紫外線により硬化したり、現像液に溶解するなどの物性が変化するフォトレジスト（感光性材料）の露光、現像を行います。~
~
#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/yellow2a.jpg,nolink,around,left,220x300)
~
→[[保有設備]]へ戻る