*フォトリソグラフィ加工室 [#zda257a5] -フォトリソグラフィ加工室は紫外線が遮断された実験室です。 -フォトリソグラフィ加工室では基板上にマイクロパターンを形成するために紫外線により硬化したり、現像液に溶解するなどの物性が変化するフォトレジスト(感光性材料)の露光、現像を行います。~ ~ #ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404y1.jpg,nolink,around,left,250x300) ~ #ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/EF404y2.jpg,nolink,around,left,250x300) ~ →[[保有設備]]へ戻る