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小型現像装置
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1 (2021-08-14 (土) 15:41:40)
2 (2021-08-14 (土) 15:53:17)
小型現像装置
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基板上に塗布したレジストを露光後に、現像するための装置です。
基板を回転させながら基板の上側から、往復運動するノズルから現像液を噴射します。
現像液による現像、純水による洗浄、スピン乾燥がプラグラム制御により自動で実施できます。