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#freeze
*小型現像装置 [#cc8fe9e9]
-基板上に塗布したレジストを露光後に、現像するための装置です。~
-基板を回転させながら基板の上側から、往復運動するノズルから現像液を噴射します。~
-現像液による現像、純水による洗浄、スピン乾燥がプラグラム制御により自動で実施できます。
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#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa2/image/developer2b.JPG,nolink,around,left,326x245)
#ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa2/image/developer2a.JPG,nolink,around,left,326x245)~
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