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&size(20){''Welcome to Yagyu Lab. Homepage''};~
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|BGCOLOR(white):&size(14){ 高機能でコンパクトな化学分析装置や医療用デバイスを実現可能な技術であるMEMS（メムス：微小電気機械システム）では高分子材料やシリコン基板に対し微細な加工が施されます。加工プロセスではナノ･マイクロ空間の材料特性が重要になるため，コンピュータを用いた材料･加工プロセスの分子レベルのシミュレーションやナノサイズの材料を利用した新しい材料･加工プロセスの研究を行っています。コンピュータを用いた材料･加工シミュレーションでは，計算規模に応じて学外のスーパーコンピュータを利用しながら高分子レジスト材料，ゴム材料の物性予測やレーザー加工，砥粒加工などの材料･加工プロセスのシミュレーションを実施しています。さらに，シミュレーションの結果から得られた情報や材料の熱，光学物性を利用した新しいナノ材料の生成･加工プロセスの開発にも取り組んでいます。特にMEMSにおけるレジスト材料などの高分子材料のメソ領域の材料特性に注目し，その特性のマイクロシステムへの応用を目指しています。};|BGCOLOR(white):&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/061109k30.gif,wrap,150x150);|BGCOLOR(white):&ref(http://home.kanto-gakuin.ac.jp/~yagyu/yagmasa/image/21filler_n.gif,wrap,150x150);|
*NEWS [#ebf4fec2]
**Rcent news [#qb249ac2]
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**Pubrications [#h3437586]
#listing(link(研究成果),link,recent,5)
**Member [#xfb0942f]
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**What's new[#e73184e3]
#recent(5)
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*Overview [#a640bb6f]
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) which is a technology realizing chemical analysis systems and medical devices with small and high quality, was achieved by microfabrication of silicon and polymeric material. Since material characteristics in nano-micro space are important in this fabrication process, computer simulation of materials and fabrication process focusing on the molecular scale are studied. In addition, a new fabrication process using nanomaterials is being researched in our laboratory.
&br;
In the experimental research, we fabricate a microfluidic device using micromachining technique, and we develop a synthesis of nanomaterials such as metallic nanoparticles using the fabricated device. In addition, the application of the synthesized nanomaterials to immune tests and catalysts for automobile exhaust gas.
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In the research of simulation, the prediction of properties of polymer resists and rubber material, and simulation of laser processing and micropowder blasting are researched using parallel computing such as a supercomputer according to the calculation scale. Moreover, the development of a novel fabrication process and materials using the simulation results about technical information and optical property of materials is carried out. We focus on the characteristics of MEMS materials such as polymer resist in meso scale, and an application of developed materials to microsystem is pursued.
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*Recent news [#qb249ac2]
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#norelated
}}
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