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マイクロ・ナノ材料の加工特性を明らかにするために,分子動力学法や複雑系アルゴリズムを用いた材料シミュレーションを検討しています。特にMEMSにおけるレジスト材料などの高分子材料のメソ領域の材料特性に注目し,その特性のマイクロシステムへの応用を目指しています。 |  |
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2023-09-17
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