マイクロブラスト加工のシミュレーション †

　セルラーオートマトン法によりブラスト加工（砥粒加工）によるガラス基板の加工形状を予測します。加工実験用装置の試作と実験による加工形状との比較によりシミュレータの改良を行います。

1. H. Yagyu, O. Tabata: Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.18 No. 5, 055010(9pp) (2009).
2. H. Yagyu, O. Tabata: Transaction on Electrical and Electronic Engineering, Vol.2 No. 3, p.348-356 (2007).
3. 長瀬徳孝，柳生裕聖："マスク材の摩耗を考慮した3次元マイクロブラスト加工シミュレーション", 電気学会 第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演論文集, 札幌（2018年10月）, 30am3-PLN-83.