レーザー加工プロセスの研究 †

　金ナノ粒子が分散した高分子膜のレーザ微細加工技術の研究しています。金ナノ粒子のプラズモン共鳴吸収に近い波長のグリーンレーザを加工用光源として用いることで高分子膜上に微細なパターンを作製が可能です。本研究ではナノ粒子の粒子径や粒度分布とレーザ加工形状の関係を明らかにすることを目標としています。

1. H. Yagyu, O. Tabata: Applied Surface Science, Vol.255 No. 5 Part 1, p.2237-2243 (2008).
2. T. Kikitsu, Y. Yagoto, M. Ogawa, H. Yagyu: The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers2015), Anchorage (June, 2015), pp.1881-1884.
3. H. Yagyu, T. Kikitsu: Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 25　No. 12, 125018(7pp) (2015).