• 高分子学会誌（高分子）に柳生教授の「高分子レジスト膜のシミュレーション」に関する解説記事（展望）が掲載されました。
  • 高分子学会誌（2018年9月）の特集である「電子機器を支える高分子」において、半導体用フォトレジスト、MEMS用厚膜レジストのシミュレーション技術について解説しています。
  • シミュレーション技術を数値解析モデルと分子モデルに分類して、それぞれの解析手法や解析例について説明しています。
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Last-modified: 2018-09-06 (木) 16:42:58 (2385d)