MEMS用高分子レジストのシミュレーション †

　MEMS流体デバイスを開発を目標とし，レジスト材料特性を把握するために粗視化分子動力学法により高分子レジストの構造と機械的物性（弾性率など）の関係を予測します。

1. H. Yagyu, Y. Hirai, A. Uesugi, Y. Makino, K. Sugano, T. Tsuchiya, O. Tabata: Polymer, Vol.53, p.4834-4842 (2012).
2. 平井義和, 柳生裕聖, 牧野圭秀, 上杉晃生, 菅野公二, 土屋智由, 田畑修: 電気学会論文誌E（センサ･マイクロマシン部門誌）, Vol.133 No.9, p.320-329 (2013).