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  高機能でコンパクトな化学分析装置や医療用デバイスを実現可能な技術であるMEMS(メムス:微小電気機械システム)では高分子材料やシリコン基板に対し微細な加工が施されます。加工プロセスではナノ・マイクロ空間の材料特性が重要になるため,コンピュータを用いた材料・加工プロセスの分子レベルのシミュレーションやナノサイズの材料を利用した新しい材料・加工プロセスの研究を行っています。コンピュータを用いた材料・加工シミュレーションでは,計算規模に応じて学外のスーパーコンピュータを利用しながら高分子レジスト材料,ゴム材料の物性予測やレーザー加工,砥粒加工などの材料・加工プロセスのシミュレーションを実施しています。さらに,シミュレーションの結果から得られた情報や材料の熱,光学物性を利用した新しいナノ材料の生成・加工プロセスの開発にも取り組んできます。特にMEMSにおけるレジスト材料などの高分子材料のメソ領域の材料特性に注目し,その特性のマイクロシステムへの応用を目指しています。061109k30.gif21filler_n.gif

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2022-11-18
2022-11-04
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2022-11-03

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