スピンコータ


  • 基板を高速回転させることにより、遠心力で薄膜を作製する装置です。
  • この装置は液状レジスト材料などの感光性材料を塗布するためイエロールーム内に設置しています。

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Last-modified: 2018-03-21 (水) 21:19:51 (1773d)